




氦質(zhì)譜檢漏儀能為不同的需求提供不同的測(cè)量方法
氦質(zhì)譜檢漏儀原理的氦質(zhì)譜檢漏儀特點(diǎn):
1.檢測(cè)時(shí)間和周期非常短,可以達(dá)到5s以內(nèi);
2.檢測(cè)的介質(zhì)比較常用,僅需壓縮空氣即可;
3.不會(huì)受到主觀因素判斷的影響;
4.檢測(cè)的數(shù)據(jù)精準(zhǔn);
5.自動(dòng)生成數(shù)據(jù)保存,可追溯數(shù)據(jù)來源。
氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)展的集中體現(xiàn)在如下幾個(gè)方面:
(1)便攜式:zui近各國(guó)推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。
(2)高壓強(qiáng)下檢漏:檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右,對(duì)檢測(cè)大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。
(3)自動(dòng)化程度高:自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰,自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn),量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換,自動(dòng)數(shù)據(jù)處理,可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制,菜單的選擇功能,一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
(4)全無油的干式檢漏:有些國(guó)家生產(chǎn)的檢漏儀,可采用干式泵,達(dá)到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件。
(5)檢漏范圍寬:現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀,質(zhì)量范圍很寬,不僅可檢測(cè)氦氣,而且能檢測(cè)其它氣體。
氦質(zhì)譜檢漏儀能為不同的應(yīng)用提供廣泛的測(cè)試方法,含有渦輪分子泵、內(nèi)置機(jī)械泵、外置機(jī)械泵、光譜、儀管、閥組、檢漏儀電子元件和操作頁面,以及可選功能組件。(3)自動(dòng)化程度高:自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰,自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn),量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換,自動(dòng)數(shù)據(jù)處理,可外接打印機(jī)。氦質(zhì)譜檢漏儀在許多領(lǐng)域里得到廣泛的應(yīng)用,例如,在航空航天領(lǐng)域里宇宙飛船、航天飛機(jī)、火箭、飛機(jī)等這些都要用到真空檢漏技術(shù)。

氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)和工作原理
氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì),其基本原理是根據(jù)離子在磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)時(shí),不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實(shí)現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。86×10-5Pa·s,1L液氦氣化為標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氦氣體積為700L。檢漏工作時(shí)先打開抽空閥前級(jí)泵對(duì)檢漏接口抽真空,當(dāng)真空度P1 優(yōu)于200 Pa 時(shí),打開入口閥1、2,關(guān)閉抽空閥,氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室中被檢測(cè)出來,此時(shí)檢漏儀的較小可檢漏率為10- 10 Pa·m3/s。前級(jí)泵繼續(xù)對(duì)檢漏接口抽真空,當(dāng)P1降至20 Pa 時(shí),入口閥2 關(guān)閉,入口閥3 打開,分子泵的高抽速用于抽空試件,檢漏儀的反應(yīng)時(shí)間縮短,此時(shí)檢漏儀的較小可檢漏率為10- 12 Pa·m3/s。
科儀創(chuàng)新?lián)碛邢冗M(jìn)的技術(shù),我們都以質(zhì)量為本,信譽(yù)高,我們竭誠(chéng)歡迎廣大的顧客來公司洽談業(yè)務(wù)。如果您對(duì)氦檢漏感興趣,歡迎點(diǎn)擊左右兩側(cè)的在線客服,或撥打咨詢電話。
真空箱法氦質(zhì)譜檢漏的原理與系統(tǒng)特點(diǎn)
真空箱法氦質(zhì)譜檢漏的充氣回收檢漏系統(tǒng)
1.配置與氣路控制
真空箱:一般為雙工位,兩個(gè)不銹鋼真空箱,開門裝置可采用液壓方式,或加配重的手動(dòng)方式。
工件抽空系統(tǒng):低真空泵及閥門,低真空測(cè)量充氮與回收系統(tǒng):氦氣儲(chǔ)存罐(高壓罐),氦氣回收取罐(低壓罐),主壓縮機(jī),輔壓縮機(jī),過濾器以及一些高壓閥和真空閥門等。
真空箱抽氣系統(tǒng):為自動(dòng)控制型,由面板、PLC系統(tǒng)(可編程邏輯控制器),充氦回收系統(tǒng),真空箱抽氣系統(tǒng)的電路部分以及為自動(dòng)檢漏過程提供參考信號(hào)的壓力傳感器和熱偶計(jì),同時(shí),實(shí)施對(duì)整個(gè)系統(tǒng)的工作控制,對(duì)檢漏過程和結(jié)果顯示。
2.系統(tǒng)檢測(cè)過程
1)、通過v1、V4,泵系統(tǒng)對(duì)工件和真空箱抽真空,如果限定的時(shí)間內(nèi)抽到限定的真空度,此時(shí),電氣控制系統(tǒng)關(guān)閉V1,打開V2
2)、充氦系統(tǒng)通過V2對(duì)工件進(jìn)行充氦至核定的壓力,穩(wěn)定,關(guān)閉V2
3)、關(guān)閉V4,打開V3、V5,處在正常工作狀態(tài)待命的氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行檢漏,如果不漏,電氣控制系統(tǒng)指揮關(guān)斷V3、V5,打開V2對(duì)氦氣進(jìn)行回收。
4)、關(guān)閉V2打開V6對(duì)真空箱放氣,開啟真空箱更換工件。
5)、如果第三點(diǎn)檢漏儀檢測(cè)到超過設(shè)定值(漏率)的工件,檢漏儀聲光報(bào)警,將:工作內(nèi)的氦氣回收,對(duì)真空箱和管道巾的氦氣通過清潔泵抽除,免得影響檢漏儀的檢測(cè)效果和不污染檢漏儀。
6)、維持泵有一定的氦分流作用,不宜過大(不超過41),清潔泵也同樣。
本產(chǎn)品信息由科儀創(chuàng)新提供,如果您想了解更多您可撥打圖片上的電話進(jìn)行咨詢,科儀創(chuàng)新竭誠(chéng)為您服務(wù)!